| 摘要 |
기판을 파지하기 위한 그리퍼가 개시된다. 상기 그리퍼는, 기판의 상부면 및 하부면을 각각 파지하기 위한 상부 및 하부 그리퍼들과, 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 각각 장착된 상부 및 하부 캠 팔로워들과, 상기 상부 캠 팔로워를 지지하며 상부 경사면을 갖는 상부 캠 플레이트와, 상기 하부 캠 팔로워를 지지하며 상기 상부 경사면과 반대 방향으로 경사진 하부 경사면을 갖는 하부 캠 플레이트와, 상기 상부 및 하부 캠 플레이트들을 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 의해 상기 기판이 파지 또는 해제되도록 하는 구동부를 포함한다. |
