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Bei einem Verfahren zur Präparation einer Probe (P) für die Mikrostrukturdiagnostik wird durch materialabtragende Laserstrahlbearbeitung aus einem Substrat ein Probenkörper (PK) mit vorgebbarer Gestalt präpariert. Anschließend wird ein Zielabschnitt (ZA) des Probenkörpers mittels Laserstrahlbearbeitung und/oder Ionenstrahlbearbeitung zur Freilegung eines für ein Mikrostrukturuntersuchung geeigneten Zielvolumens (ZV) weiterbearbeitet. Das Verfahren umfasst folgende Schritte:
(a) Freistellen des Probenkörpers (PK) aus dem Substrat mittels mindestens einer Laserbearbeitungsoperation durch Einstrahlen mindestens eines Laserstrahls senkrecht und/oder schräg zu einer Substratoberfläche derart, dass ein Probenkörper entsteht, welcher an einer Probenkörper-Oberseite (PO) durch einen Bereich der Substratoberfläche sowie seitlich durch schräg oder senkrecht zu der Substratoberfläche orientierte Seitenflächen begrenzt ist, wobei eine Gestalt des Probenkörpers erzeugt wird, die mindestens einen massiven Handhabungsabschnitt (HA1, HA2) und angrenzend an den Handhabungsabschnitt einen relativ zum Handhabungsabschnitt dünneren Zielabschnitt (ZA) aufweist, welcher an einer Schmalseite durch die Probenkörper-Oberseite (PO) und seitlich durch senkrecht oder schräg zur Probenkörper-Oberseite verlaufende Seitenflächen begrenzt ist;
(b) Herstellen eines von dem Probenkörper gesonderten Probenkörper-Halters (PH), der an die Gestalt des Probenkörper angepasste Aufnahmestrukturen (AST) zum Aufnehmen des Probenkörpers in einer definierten Aufnahmeposition aufweist;
(c) Entnehmen des freigestellten Probenkörpers aus dem Substrat;
(d) Fixieren des aus dem Substrat entnommenen Probenkörpers (PK) an den Aufnahmestrukturen des Probenkörper-Halters, so dass sich der Probenkörper in der Aufnahmeposition befindet;
(e) Durchführen mindestens einer weiteren materialabtragenden Bearbeitung mindestens einer Seitenfläche des Probenkörpers im Bereich des Zielabschnitts mittels Laserstrahlbearbeitung und/oder Ionenstrahlbearbeitung zur Freilegung des Zielvolumens. |
