检测装置及方法

摘要

本发明公开一种检测装置及方法，所述检测装置包含︰一光源、一滤光片、至少一网罩、一分光镜以及一影像撷取单元。所述光源提供一光线；所述滤光片设置在所述光源前方，以对所述光线进行滤光；所述至少一网罩设置在所述滤光片前方，并具有数个规则排列的网孔，所述滤光后的光线通过所述网孔成为一网状光；所述分光镜倾斜设置于所述网罩前方，以将所述网状光反射投射至一待测表面；所述影像撷取单元设置于所述分光镜上方，以撷取由所述待测表面反射且穿过所述分光镜的一反射影像，以供判断所述待测表面上是否具有一缺陷。

主权项

一种检测装置，其特征在于：所述检测装置包含：一光源，提供一光线；一滤光片，对所述光线进行滤光；至少一光网状化元件，滤光后的光线通过所述光网状化元件成为一网状光，所述网状光投射至一待测表面；以及一影像撷取单元，撷取由所述待测表面的一反射影像。