| 发明名称 | 酸产生剂化合物和包含所述化合物的光致抗蚀剂 | ||
| 摘要 | 本发明提供尤其适用作光致抗蚀剂组合物组分的酸产生剂化合物。在一个优选方面中，提供包含一种或多种亲水性部分的酸产生剂。 | ||
| 申请公布号 | CN106187964A | 申请公布日期 | 2016.12.07 |
| 申请号 | CN201610380432.9 | 申请日期 | 2016.06.01 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 | 发明人 | I·考尔;刘骢;C-B·徐 |
| 分类号 | C07D307/93(2006.01)I;C07D493/18(2006.01)I;C07C309/17(2006.01)I;C07C303/32(2006.01)I;C07C321/28(2006.01)I;C07C319/20(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | C07D307/93(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆蔚;陈哲锋 |
| 主权项 | 一种酸产生剂，其包含下式(I)的结构：<img file="FDA0001006568630000011.GIF" wi="862" he="239" />其中：M<sup>+</sup>是相对离子；Z<sub>1</sub>和Z<sub>2</sub>各自独立地表示氢或非氢取代基，其中Z<sub>1</sub>或Z<sub>2</sub>中的至少一个是氟或氟烷基；L<sub>1</sub>是连接基团；W<sub>1</sub>是任选地被取代的碳脂环基或任选地被取代的杂脂环基；R<sub>1</sub>是‑(C＝O)O(‑(CXY)CX'Y'O)<sub>n</sub>R，其中n是正整数，R是任选地被取代的烷基、任选地被取代的烷氧基、氢或羟基，并且每一X、Y、X'和Y'是氢或非氢取代基。包含一个或多个醚键；并且m是正整数。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||