检测装置及其基板

摘要

本实用新型涉及一种检测装置及其基板。所述基板用于放置进行离子注入的硅片，所述基板包括本体和容纳部；所述容纳部设置在所述本体上，所述容纳部上开设有多个孔，所述多个孔在行和列方向上依次排列，每个所述孔用于放置一片所述硅片，且所述孔的尺寸与所述硅片的尺寸相适配。上述检测装置及其基板，采用离子注入机每次对硅片进行离子注入时，只需将硅片放置在对应的孔中即可，保证每次硅片放置的位置相同，进而保证每次离子注入后硅片阻值的测试数据的准确性，避免误差的存在。

主权项

一种基板，所述基板用于放置进行离子注入的硅片，其特征在于，包括：本体；以及容纳部，所述容纳部设置在所述本体上，所述容纳部上开设有多个孔，所述多个孔在行和列方向上依次排列，每个所述孔用于放置一片所述硅片，且所述孔的尺寸与所述硅片的尺寸相适配。