发明名称 | 一种基于MEMS的电容式红外气体传感器 | ||
摘要 | 一种基于MEMS的电容式红外气体传感器,该传感器以阵列的形式布置,通过对比分析特定波长下红外光强度的变化来测定CO、CH<sub>4</sub>、SO<sub>2</sub>的浓度,并采用电容作为感应元件。此外,太阳辐射检测技术在监测天气气候状况、预测未来天气、农业生产、太阳能开发等都有着重要意义,大气臭氧层的损耗,照射到地面的太阳光紫外线增强,使得人们越来越关注太阳辐射的变化。本实用新型设计的传感器还带有一个简便系统,可以用于太阳辐射量检测。本实用新型采用电容作为感应元件,温度漂移低、精度高。 | ||
申请公布号 | CN205786303U | 申请公布日期 | 2016.12.07 |
申请号 | CN201620455500.9 | 申请日期 | 2016.05.18 |
申请人 | 南京信息工程大学 | 发明人 | 顾芳;孙亚飞;张加宏;李敏 |
分类号 | G01N21/3518(2014.01)I | 主分类号 | G01N21/3518(2014.01)I |
代理机构 | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人 | 戴朝荣 |
主权项 | 一种基于MEMS的电容式红外气体传感器,其特征在于,包括:依次连接的直流电源、敏感探头、信号调理电路以及信号处理电路;所述敏感探头包括MEMS红外光源(1)、待测气室(2)、参比气室(3)、红外滤光片阵列(5)和红外探测阵列(6);所述待测气室(2)和参比气室(3)形成左右对称结构,侧壁均设置有绝缘绝热板(4),顶部均与MEMS红外光源(1)相接,底部均与红外滤光片阵列(5)相接,其中所述待测气室(2)设有进气孔(21)和出气孔(22),用于与待测气体环境相通,所述参比气室(3)为封闭结构,内封有一个大气压的、不含待测气体的标准气体;所述MEMS红外光源(1)经直流电源对其通电后,向待测气室(2)和参比气室(3)辐射红外光,红外光分别穿过待测气室(2)和参比气室(3),通过红外滤光片阵列(5)出射,红外探测阵列(6)对出射的红外光进行探测,将探测信号传送给信号调理电路进行调理,再经过信号处理电路输出数据。 | ||
地址 | 210019 江苏省南京市建邺区奥体大街69号 |