发明名称 |
烘烤设备 |
摘要 |
本实用新型公开了一种烘烤设备,包括工艺腔室、进气管和排气管;进气管与排气管在所述工艺腔室异面设置;进气管设置有出气口,用于通过出气口将加热后的工艺气体输入至工艺腔室内,由工艺气体对置于工艺腔室内的器件进行加热烘烤;排气管设置在工艺腔室的内部,开设有进气口和排气口,用于通过进气口将工艺气体引入排气管内,并通过排气口由工艺腔室排出。由此,当采用上述烘烤设备对器件进行加热烘烤时,能够通过位于工艺腔室内部的排气管内的工艺气体的热量对器件进行预加热,从而缩短了工艺腔室内的预设烘烤温度的上升时间,降低了能源消耗。有效解决了传统的烘烤设备容易产生能源浪费的问题。 |
申请公布号 |
CN205789890U |
申请公布日期 |
2016.12.07 |
申请号 |
CN201620532772.4 |
申请日期 |
2016.06.02 |
申请人 |
昆山国显光电有限公司 |
发明人 |
孙健 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
唐清凯 |
主权项 |
一种烘烤设备,其特征在于,包括工艺腔室、进气管和排气管;所述进气管与所述排气管在所述工艺腔室异面设置;所述进气管设置有出气口;且所述进气管用于通过所述出气口将加热后的工艺气体输入至所述工艺腔室内,由所述工艺气体对置于所述工艺腔室内的器件进行加热烘烤;所述排气管设置在所述工艺腔室的内部,且开设有进气口和排气口;所述排气管用于通过所述进气口将所述工艺气体引入所述排气管内,并将所述工艺气体通过所述排气口由所述工艺腔室排出。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢 |