| 摘要 |
일련의 리니어 액추에이터들은 사이즈가 컴팩트하고, 그리고 감소된 고장율들로 고속들로 작동할 수 있다. 개시된 리니어 액추에이터들은, 예를 들면, 반도체 또는 바이오테크놀로지 스캐닝 어플리케이션들에서와 같은 서브 마이크론 위치 결정 어플리케이션들에서 사용될 수도 있다. 액추에이터 장치는 영구 자석 및 이동 코일 조립체가 배치되는 내부 부피를 규정하는 자석 하우징을 포함할 수 있다. 이동 코일 조립체는 실질적으로 편평한 이동 코일 스캐폴드들의 세트 주위로 감겨진 도전성 코일들을 포함한다. 이동 코일 조립체는 외부 크로스 롤러 가이드들의 세트 사이에서 액추에이터 내에서 중심에 위치되어 액추에이터의 안내 시스템에 대한 코일의 내부 모멘트 효과를 감소시키거나 제거하고, 그리고 액추에이터가 작은 높이 및 컴팩트한 형태 인자를 갖게 한다. |
