| 摘要 |
웨이퍼 검사 방법에 있어서, 상기 방법은, 광학 문자 판독 장치를 이용하여 웨이퍼의 아이디를 판독하는 단계와, 상기 웨이퍼의 아이디 이미지를 획득하는 단계와, 상기 판독된 웨이퍼 아이디와 상기 아이디 이미지를 출력하는 단계와, 상기 판독된 웨이퍼 아이디와 상기 아이디 이미지가 일치하는지 여부를 확인하는 단계와, 상기 아이디 확인 단계가 완료된 후 프로브 카드를 이용하여 웨이퍼에 대한 검사 공정을 수행하는 단계를 포함한다. 이때, 상기 판독된 웨이퍼 아이디와 상기 아이디 이미지가 일치하지 않는 경우 상기 아이디 이미지에 따라 상기 판독된 웨이퍼 아이디를 수정한다. |
