Apparatus for Circulating Liquid chemical

摘要

약액 순환 장치는 잉크젯 방식으로 기판에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하도록 구비되는 약액 공급부; 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드로 공급되는 상기 약액을 회수하도록 구비되는 약액 회수부; 및 상기 약액 회수부로 회수되는 상기 약액을 상기 약액 공급부로 전달하도록 구비되는 약액 전달부를 포함할 수 있다.