MASS SENSOR

摘要

질량 감지 센서에 관한 것으로,상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일실시예에 따른 질량 감지 센서는 기준센서를 포함한 하나 이상의 측정센서를 포함하는 QCM 센서 어레이; 상기 기준센서와 다른 측정센서 간의 주파수 차이를 비교하는 주파수 비교부; 및 상기 주파수 비교부의 출력값을 전압으로 변환하는 주파수 전압 변환부를 포함할 수 있다.