发明名称 热处理装置
摘要 一种藕接至一定温讯号的热处理装置,其包括一误差检出单元、一温度控制单元、一加热单元、一监测单元、一警示单元、一感温单元、一过热警示单元与一增益单元。误差检出单元产生一差值讯号予温度控制单元,以产生一功率讯号予加热单元。监测单元撷取功率讯号,用以计数温度控制单元未持续产生功率讯号的时间,所计数之时间到达预先设定的时间时,触发警示单元发出警讯。感温单元藕接至加热单元,用以感测加热单元的实际温度,并产生一实温讯号,经由增益单元输出予误差检出单元。过热警示单元,藕接至感温单元,当加热单元的实际温度到达预先设定的温度时,过热警示单元即发出警讯。
申请公布号 TW420376 申请公布日期 2001.01.21
申请号 TW085215178 申请日期 1996.10.02
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 廖经文;彭其康;郭金生;林春庆
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种热处理装置,藕接至一定温讯号,该装置包括:一误差检出单元,其一输入藕接至该定温讯号,并产生一差値讯号;一温度控制单元,藕接该差値讯号以产生一功率讯号;一加热单元,藕接该功率讯号;一监测单元,藕接该功率讯号,用以计数该温度控制单元未持续产生该功率讯号的时间;一警示单元,藕接至该监测单元,当该监测单元所计数之时间到达预先设定的时间时,该警示单元即发出警讯;一感温单元,藕接至该加热单元,用以感测该加热单元的实际温度,并产生一实温讯号;一过热警示单元,藕接至该感温单元,当该加热单元的实际温度到达预先设定的温度时,该过热警示单元即发出警讯;以及一增益单元,藕接至该实温讯号以产生一回授讯号,该回授讯号藕接至该误差检出单元的另一输入。2.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该温度控制单元包括一整流单元。3.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该警示单元系一语音装置。4.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该警示单元系一显示装置。5.如申请专利范围第2项所述之装置,其中该整流单元系一桥式整流器。6.如申请专利范围第2项所述之装置,其中该监测单元包括一光耦合器。7.如申请专利范围第6项所述之装置,其中该监测单元更包括两个计时器。8.如申请专利范围第7项所述之装置,其中该监测单元更包括一电晶体。9.如申请专利范围第8项所述之装置,其中该监测单元更包括复数个电阻与电容。图式简单说明:第一图绘示的是习知一种光阻热处理装置的方块图;第二图绘示的是应用本创作之一种光阻热处理装置的方块图;以及第三图绘示的是第二图中之监测单元与整流单元的参考电路图。
地址 新竹科学工业园区新竹县园区三路一二一号