| 主权项 |
一种多晶硅还原炉炉体，包括底盘（2）、罩扣在底盘（2）上的夹层炉体，其特征在于：所述的夹层炉体内设有隔热罩，隔热罩与夹层炉体内壁（1）之间设有隔离块（6），所述隔离块（6）厚度L为10～15mm ；所述隔热罩由多层金属隔热板（4）构成，多层金属隔热板（4）通过不锈钢螺栓（3）连接在一起，多层金属隔热板（4）之间均设有隔离垫片（9），多层金属隔热板（4）的夹层与炉内腔相通，根据夹层炉体内壁（1）成比例制作金属隔热板（4），保持与夹层炉体内壁（1）形状一致，以保持多晶硅还原过程中多层金属隔热板（4）的夹层与炉内氛围相同；所述的多层金属隔热板（4）的层数为3～5层；所述的多层金属隔热板（4）为不锈钢板，每层隔热板的厚度为2～5mm的范围内，隔热板的间距D为3～10mm；多层金属隔热板（4）之间通过不锈钢螺栓（3）连接固定，方便对金属隔热板（4）的定期更换和维护；多层金属隔热板（4）连接固定后坐落在底盘（2）上，所述不锈钢螺栓（3）穿过金属隔热板（4）和隔离垫片（9）上的螺栓孔，夹层炉体内壁（1）和夹层炉体外壁（8）之间是炉壁夹层（7），只需通过冷却水，即可带走硅棒辐射到炉壁的热量，保护炉壁；多层金属隔热板（4）罩住安装在底盘（2）上的多晶硅硅芯（5），解决了夹层炉体内壁抛光困难和热辐射使内壁产生高温氯化氢腐蚀的问题，并以隔热屏的形式大幅度减少热量损失，隔热节能效果显著。 |
