用于产生等离子体的同轴微波施加器

摘要

发明涉及一种用于产生等离子体的同轴微波施加器(1)，包括由中间芯体(11)以及通过允许传播微波的环形容腔(13)与中间芯体分隔的外导体(12)形成的同轴管。施加器包括：位于中间芯体(11)的末端处的圆柱形永磁体(21)；和位于外导体(12)的末端处的至少一个环形永磁体(11)，位于同轴管的末端处的全部磁体(21、22)具有相同的磁化方向。磁体(21、22)的磁化形成的磁场适于在远离施加器的末端的区域(Z_RCE)中生成与施加器(1)的微波电场耦合的电子回旋共振。环形磁体的外半径和磁化使得磁体生成的磁场线(L)在基本平行于施加器(1)的轴线(X)的方向上穿过耦合区域。

主权项

一种用于产生等离子体的同轴微波施加器(1)，包括由中间芯体(11)和外导体(12)组成的导电的同轴管，所述外导体(12)围绕所述中间芯体(11)并且通过用于传播微波的环形容腔(13)与所述中间芯体(11)分隔，其特征在于，所述施加器包括：圆柱形永磁体(21)，其磁化方向平行于所述施加器(1)的轴线(X)，所述圆柱形永磁体(21)位于所述中间芯体(11)的末端；以及至少一个环形永磁体(22)，其磁化方向平行于所述施加器(1)的轴线(X)，并且与所述圆柱形永磁体(21)的磁化方向一致，所述至少一个环形永磁体(22)位于所述外导体(12)的末端，位于所述同轴管的末端处的所述圆柱形永磁体(21)和每个环形永磁体(22)具有相同的磁化方向，所述圆柱形永磁体(21)和所述环形永磁体(22)的磁化强度被选择以形成一磁场，所述磁场适于在远离所述施加器的末端的电子回旋共振耦合区域(Z_RCE)内提供与所述施加器(1)生成的微波电场耦合的电子回旋共振，所述环形永磁体(22)的外半径和磁化强度也被选择以使得所述圆柱形永磁体(21)和所述环形永磁体(22)生成的磁场线(L)在与所述施加器(1)的轴线(X)基本平行的方向上穿过电子回旋共振耦合区域(Z_RCE)。