集成电路检查装置

摘要

本发明涉及一种集成电路检查装置，其是用于检查包含半导体基板及形成于半导体基板的表面侧的电路部的集成电路的集成电路检查装置，具备：光产生部，其产生照射于集成电路的光；波长宽度调整部，其调整照射于集成电路的光的波长宽度；照射位置调整部，其调整照射于集成电路的光的照射位置；及光检测部，其在来自光产生部的光经由半导体基板的背面而照射于电路部时，检测来自集成电路的光。

主权项

一种检查装置，其特征在于：是用于检查包含电路部的集成电路的检查装置，具备：测试器，其将测试信号施加到所述集成电路；光源，其产生照射于所述集成电路的具有波长宽度的光；光学系统，其将由所述光源产生的光照射到半导体基板；光检测部，其检测通过所述光学系统照射并且对应于所述测试信号进行调制且在所述集成电路被反射的光，并输出电信号；及解析部，其解析对应于所述电信号的特定的周期或者频率的信号。