发明名称 |
一种用于激光干涉仪测量远距离的光学系统 |
摘要 |
本实用新型提供一种用于激光干涉仪测量远距离的光学系统,包括:参考光路组件、远距离测量光学组件和第一角锥反射镜,所述远距离测量光学组件设置于所述参考光路组件和第一角锥反射镜之间,其中,所述远距离测量光学组件包括出射光学部件和接收光学部件。本实用新型所述远距离测量光学组件中的出射光学部件通过斜方棱镜将光束上移一段距离,这样就算是激光光斑由于传输距离较远而变大,也不会导致出射光斑和反射光斑的重合,而且通过出射光学部件可以让激光光束传播的更远;通过接收光学部件的第二望远镜的大口径光束返回结构,可以最大程度地保证了回射光的信号强度,能够大幅度降低对光学元件的加工要求。 |
申请公布号 |
CN205785113U |
申请公布日期 |
2016.12.07 |
申请号 |
CN201620437788.7 |
申请日期 |
2016.05.13 |
申请人 |
深圳市中图仪器科技有限公司 |
发明人 |
刘龙为;张和君;张珂;黄庭总 |
分类号 |
G01B11/27(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/27(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 |
代理人 |
温玉珍 |
主权项 |
一种用于激光干涉仪测量远距离的光学系统,其特征在于,包括:参考光路组件、远距离测量光学组件和第一角锥反射镜,所述远距离测量光学组件设置于所述参考光路组件和第一角锥反射镜之间,其中,所述远距离测量光学组件包括出射光学部件和接收光学部件。 |
地址 |
518049 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1001号智园B1栋二层 |