一种集成式大流量压电泵

摘要

一种集成式大流量压电泵，由四层泵体压合组成，每层泵体包含两个并联的压电微泵，一个公共入口，一个公共出口。一号泵体与二号泵体、三号泵体的结构完全相同，四号泵体的公共入口与公共出口未完全贯穿泵体，其余结构与一号泵体一样，一号泵体的顶部包含阀片，抛物线泵腔以及压电振子等，底部包含入口流道和出口流道，其中压电振子以简支形式固定在泵体。一号泵体的底部与二号泵体的底部压合，二号泵体的顶部与三号泵体的顶部压合，三号泵体的底部与四号泵体的底部压合，进而构成整体的集成式大流量压电泵。该压电泵具有高度集成化，体积小，输出流量大的优点。

主权项

一种集成式大流量压电泵，所述的压电泵由一号泵体(1)，二号泵体(2)，三号泵体(3)以及四号泵体(4)压合而成，一号泵体(1)的底部与二号泵体(2)的底部压合，二号泵体(2)的顶部与三号泵体(3)的顶部压合，三号泵体(3)的底部与四号泵体(4)的底部压合，其中底部相连各泵体的入口流道相通，出口流道也相通；每层泵体包含两个并联的小压电微泵，一个公共入口(5)，一个公共出口(6)，每层泵体的公共入口(5)和公共出口(6)相连通，每层泵体底部包括两条并联的入口流道(13)和两条并联的出口流道(14)，入口流道(13)与公共入口(5)相连通，出口流道(14)与公共出口(6)相连通；每层的小压电微泵包括压电振子(7)，阀盖(8)，轮式阀(9)，密封圈(10)，泵腔入口(11)，泵腔出口(12)，泵腔(15)，其中阀盖(8)与轮式阀(9)都放置在阀槽，阀盖(8)在轮式阀(9)的上方，密封圈(10)放置于密封槽，压电振子(7)盖在密封圈(10)与泵腔(15)的上方，通过胶接压电振子(7)的边缘固定于泵体，其特征在于所述泵腔(15)的截面呈抛物线型。