一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉

摘要

本实用新型公开了一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉，包括真空共晶炉本体和一套甲酸注入系统，甲酸注入系统包括进气通道、出气通道以及连接在进气通道和出气通道之间的储液装置。储液装置包括石英杯、防护罩、上盖、底座、上盖密封垫、减震垫、高液位检测开关和低液位检测开关。石英杯卡持在上盖和底座之间，防护罩围绕在石英杯的圆周方向上，上盖上设有进液口，上盖上出气通道的入口高于进气通道的出口。嵌套方式固定的石英杯连接紧固、组装方便、注液灵活，通过向真空共晶炉本体的内腔中注入甲酸气体，有效提高了芯片焊接的质量和焊接稳定性，满足了现代芯片焊接的需要。

主权项

一种带有甲酸注入系统的真空共晶炉，包括真空共晶炉本体，其特征在于，还包括一套甲酸注入系统，所述甲酸注入系统包括进气通道、出气通道以及连接在进气通道和出气通道之间的储液装置；所述进气通道上按进气方向顺序设有流量计、进气耐腐蚀阀、调压阀、安全阀和进气单向阀，进气通道的出口与储液装置连通；所述出气通道上按出气方向顺序设有出气单向阀和出气耐腐蚀阀，出气通道的出口与真空共晶炉本体的内腔连通，出气通道的入口与储液装置连通，储液装置内出气通道的入口高于进气通道的出口。