| 摘要 |
본 발명은 정전척 및 정전척 제조방법에 관한 것으로, 알루미늄 몸체, 상기 알루미늄 몸체 상면에 코팅된 하부 절연층, 상기 하부 절연층 상부에 배치되고, 상측을 향하여 복수개의 돌출 형상의 패턴이 형성된 금속 전극층, 상기 금속 전극층 상부에 배치되고, 상기 금속 전극층의 상기 돌출 형상의 패턴과 대응하는 형상을 구비하는 알루미늄층 및 상기 알루미늄층을 아노다이징 처리하여 형성하고, 상기 알루미늄층의 상기 형상과 대응되는 형상을 가지는 패턴 절연층를 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 정전척 및 정전척 제조방법은 정전척 내부와 상측에 기판을 지지하는 복수개의 돌출 형상의 패턴을 형성하여 리프트 핀의 사용없이 짧은 시간에 기판의 냉각 순환을 이룰 수 있는 효과가 있다. 또한, 정전척 내부 금속 전극층 자체를 돌출 형상의 패턴으로 제조하여 최상부 절연층 상측에 추가적인 공정을 수행할 필요 없이, 금속 전극층의 형상과 대응되는 돌출 형상의 패턴이 마련되어 제조가 간편하고 양산이 용이한 효과가 있다. |
