PROCESSING CHAMBER COMBINATION OF PROCESSING CHAMBER AND LOADLOCK AND SYSTEM FOR PROCESSING SUBSTRATES

摘要

기판 처리 시스템에 있어서, 대기환경 프런트엔드, 진공환경 메인 프레임, 메인 프레임에 연결된 메인 처리 챔버, 프런트 엔드와 메인 프레임 사이에 위치된 로드락, 및 로드락에 부착된 적어도 하나의 보조 처리 챔버를 구비한다.