THERMOELECTRIC DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
본 발명은 열전소자 및 열전소자의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 방전 플라즈마 소결 방법에 의해 형성된 Cu-Mo 전극 및 방전 플라즈마 소결 방법에 의해 형성된 열전 반도체 소자를 접합하는 단계를 포함하는 열전소자의 제조 방법 및 상기 방법에 의해 제조된 열전소자에 관한 것이다. 본 발명의 열전소자는 반도체 소자와 전극 간의 열팽창계수 차이를 감소시켜 고온에서의 열전소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.