发明名称 生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN量子阱及其制备方法
摘要 本发明公开了生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN多量子阱,包括依次生长在铝酸镁钪衬底上的第一GaN缓冲层、非晶态AlN插入层、第二GaN缓冲层、InGaN/GaN量子阱。本发明还公开了上述生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN多量子阱的制备方法。本发明具有生长工艺简单,制备成本低廉的优点,且制备的InGaN/GaN多量子阱缺陷密度低、结晶质量好,发光性能优良。
申请公布号 CN106206888A 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201610757252.8 申请日期 2016.08.29
申请人 华南理工大学 发明人 李国强;王文樑;杨美娟;林云昊
分类号 H01L33/06(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/02(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/06(2010.01)I
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人 罗观祥
主权项 生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN量子阱,其特征在于,包括依次生长在铝酸镁钪衬底上的第一GaN缓冲层、非晶态AlN插入层、第二GaN缓冲层、InGaN/GaN量子阱。
地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号