发明名称 |
生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN量子阱及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN多量子阱,包括依次生长在铝酸镁钪衬底上的第一GaN缓冲层、非晶态AlN插入层、第二GaN缓冲层、InGaN/GaN量子阱。本发明还公开了上述生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN多量子阱的制备方法。本发明具有生长工艺简单,制备成本低廉的优点,且制备的InGaN/GaN多量子阱缺陷密度低、结晶质量好,发光性能优良。 |
申请公布号 |
CN106206888A |
申请公布日期 |
2016.12.07 |
申请号 |
CN201610757252.8 |
申请日期 |
2016.08.29 |
申请人 |
华南理工大学 |
发明人 |
李国强;王文樑;杨美娟;林云昊 |
分类号 |
H01L33/06(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/02(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/06(2010.01)I |
代理机构 |
广州市华学知识产权代理有限公司 44245 |
代理人 |
罗观祥 |
主权项 |
生长在铝酸镁钪衬底上的InGaN/GaN量子阱,其特征在于,包括依次生长在铝酸镁钪衬底上的第一GaN缓冲层、非晶态AlN插入层、第二GaN缓冲层、InGaN/GaN量子阱。 |
地址 |
510640 广东省广州市天河区五山路381号 |