| 发明名称 | 烘烤装置和方法 | ||
| 摘要 | 提供了一种用于烘烤晶圆的烘烤装置。烘烤装置包括晶圆吸盘，配置为保持晶圆，以及加热器件，设置在晶圆吸盘上方并且配置为加热晶圆。烘烤装置还包括承载手臂，配置为将晶圆转移至晶圆吸盘上方。当晶圆由晶圆吸盘保持时，晶圆吸盘物理接触晶圆的底面的中心区域。本发明实施例涉及烘烤装置和方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106206363A | 申请公布日期 | 2016.12.07 |
| 申请号 | CN201610048520.9 | 申请日期 | 2016.01.25 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 杨青海;李尚昇;高耀寰 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/3105(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;李伟 |
| 主权项 | 一种用于烘烤晶圆的烘烤装置，包括：晶圆吸盘，配置为保持所述晶圆；加热器件，设置在所述晶圆吸盘上方，配置为加热所述晶圆；以及承载手臂，配置为将所述晶圆转移至所述晶圆吸盘上方；其中，当所述晶圆由所述晶圆吸盘保持时，所述晶圆吸盘接触所述晶圆的底面的中心区域。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||