一种新型衬底固定装置

摘要

本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种新型衬底固定装置。该新型衬底固定装置，包括底盘、真空吸孔和衬底固定装置，衬底固定装置上设有推块、复位弹簧、压片转轴和衬底压片，复位弹簧的一端通过复位弹簧固定柱一固定在推块上，复位弹簧的另一端通过复位弹簧固定柱二固定在底盘上，推块的前端设有压片转轴，衬底压片能够绕着压片转轴转动。本实用新型所涉及的一种新型衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘和衬底压片之间，特别适用于对柔性衬底的固定，能够有效防止柔性衬底起褶皱，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该新型衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。

主权项

一种新型衬底固定装置，包括底盘（1）、真空吸孔（2）和衬底固定装置（3），其特征在于：所述底盘（1）的中部设有多个真空吸孔（2），所述底盘（1）的周边均有设有6个衬底固定装置（3），所述衬底固定装置（3）上设有推块（4）、复位弹簧（5）、压片转轴（8）和衬底压片（9），所述复位弹簧（5）的一端通过复位弹簧固定柱一（6）固定在推块（4）上，所述复位弹簧（5）的另一端通过复位弹簧固定柱二（7）固定在底盘（1）上，所述推块（4）的前端设有压片转轴（8），所述衬底压片（9）能够绕着压片转轴（8）转动。