发明名称 喷流型电镀槽
摘要 本实用新型公开了一种喷流型电镀槽,包括:多个槽体、喷流装置,所述多个槽体按两个槽体一行设置为多列,所述每个槽体底部前后两端各设置有一组喷流装置;所述喷流装置包括:进水管、回水管、循环泵、垂直喷杆、喷头,所述进水管设置在槽体底部一端,所述回水管设置在槽体底部中部,所述进水管、回水管与循环泵相连接;所述进水管上竖直设置有多根垂直喷杆,每根垂直喷杆从上到下均匀设置有多个喷头。本实用新型提供的喷流型电镀槽,利用槽体两端设置的喷流装置,可以充分的对两组喷流装置中间设置的面板进行药液喷流;另外,垂直喷杆与喷头的结构,可保证面板电镀均匀,镀铜纯度高,提高盲孔,钻孔的电镀质量。
申请公布号 CN205774865U 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201620497363.5 申请日期 2016.05.27
申请人 昆山沪利微电有限公司 发明人 崔纪涛
分类号 C25D17/02(2006.01)I 主分类号 C25D17/02(2006.01)I
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人 母秋松;董建林
主权项 一种喷流型电镀槽,包括:多个槽体,其特征在于:还包括:喷流装置,所述多个槽体按两个槽体一行设置为多列,所述每个槽体底部前后两端各设置有一组喷流装置;所述喷流装置包括:进水管、回水管、循环泵、垂直喷杆、喷头,所述进水管设置在槽体底部一端,所述回水管设置在槽体底部中部,所述进水管、回水管与循环泵相连接;所述进水管上竖直设置有多根垂直喷杆,每根垂直喷杆从上到下均匀设置有多个喷头。
地址 215300 江苏省苏州市昆山市综合保税区楠梓路255号
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