自动识别半径补偿方向的三坐标测量机专用测头

摘要

本实用新型公开了自动识别半径补偿方向的三坐标测量机专用测头。现有三坐标测量机的半径补偿方法都需要大量计算。本实用新型包括测量头和电容极板；测量头上均匀布满电容极板；测量头上电容极板的面积S的取值小于100μm²；测量头上每个电容极板与金属被测物件均形成一个电容元件；将测量头上的电容极板记为G，则电容元件的电容极板间距离为投影电容极板G′与电容极板G在金属被测物件上的投影处切面的间隙，电容元件的电容极板相对面积为Scosθ，θ为电容极板G与投影电容极板G′的夹角。本实用新型在精度要求不高时，直接取输出电容值最大的电容极板作为接触点进行半径补偿，不需要计算；在精度要求较高时，通过计算反推接触点的精确位置。

主权项

自动识别半径补偿方向的三坐标测量机专用测头，包括测量头和电容极板，其特征在于：所述的测量头上以阵列方式均匀布满电容极板；所述的电容极板形状为正方形或正三角形；测量头上电容极板的面积S的取值小于100μm²。