| 摘要 |
본 발명은, 진공펌프에 의해 진공상태로 공정이 수행되는 공정챔버에서 배출되는 유해가스를 처리하는 설비에 있어서, 상기 공정챔버에서 배출되는 상기 유해가스 내 유해물질들을 분해시키기 위해 마이크로웨이브 발생유닛에서 발생된 마이크로웨이브가 공급되는 도파로가 형성된 웨이브 가이드와, 상기 공정챔버로부터 배출되는 상기 유해가스가 유동되는 제1 배관과, 상기 진공펌프를 향해 상기 유해가스가 유동되는 제2 배관 사이에 배치되어 상기 제1 배관 및 상기 제2 배관과 착탈 가능하게 연결되며, 상기 웨이브 가이드로부터 상기 마이크로웨이브가 유입되며, 상기 유입된 마이크로웨이브가 내부에서 반사되도록 형성되어 상기 마이크로웨이브에 의하여 플라즈마 방전이 발생하여 상기 유해가스 내 유해물질을 분해하는 플라즈마 방전챔버를 포함하는 유해가스 처리설비를 제공한다. |
