| 发明名称 | 一种硅化铁薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明的一种硅化铁薄膜及其制备方法，其包括步骤：首先在待加工铁板表面和工具电极的工作面吸附一层硅粉；然后将脉冲电源的一极与铁板连接，脉冲电源的另一极与工具电极连接；开启脉冲电源，在铁板表面制得硅化铁薄膜。与现有技术相比，本发明具有制备工艺简单，加工效率高，生产成本低，硅化铁薄膜不易剥落的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN106191763A | 申请公布日期 | 2016.12.07 |
| 申请号 | CN201610820134.7 | 申请日期 | 2016.09.13 |
| 申请人 | 佛山科学技术学院 | 发明人 | 朱中槐;叶树林 |
| 分类号 | C23C10/30(2006.01)I;C23C10/02(2006.01)I | 主分类号 | C23C10/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人 | 王永文;刘文求 |
| 主权项 | 一种硅化铁薄膜的制备方法，其特征在于，包括步骤：A、首先在待加工铁板表面和工具电极的工作面吸附一层硅粉；B、然后将脉冲电源的一极与铁板连接，脉冲电源的另一极与工具电极连接；C、开启脉冲电源，在铁板表面制得硅化铁薄膜。 | ||
| 地址 | 528000 广东省佛山市禅城区江湾一路18号 | ||