一种获得倾斜波面干涉系统中点源阵列分布的规划方法

摘要

本发明公开了一种获得倾斜波面干涉系统中点源阵列分布的规划方法，将被测件的设计面形数据输入倾斜波面干涉系统仿真程序，利用光路可逆性，将待测件上每个点对应的点源分布区域都计算出来，确定每个区域的质心坐标，计算出每个质心到对应区域边缘的最短距离矩阵，根据点源阵列发生器的具体加工情况，优化所需要的点源位置，获得每个点对应的最优点源位置，根据被测件上每个点对应的最优位置，获得符合待测件面形变化要求的点源阵列发生器参数，包括点源阵列的数量，排列方式，点源间距等。所述方法原理简单，易实现，获得的点源阵列参数精度高，符合实际待测件需求。

主权项

一种获得倾斜波面干涉系统中点源阵列分布的规划方法，其特征在于，方法步骤如下：第一步，将被测件的设计面形数据输入倾斜波面干涉系统仿真程序，根据倾斜波面干涉系统原理，由被测件表面反射回所述倾斜波面干涉系统的反射光线不需要严格经过光轴上的点源位置，即O点，即在Z＝0平面内能够确定一个以(0，0)为圆心r为半径的圆，只要反射光线经过此圆内就能返回所述倾斜波面干涉系统；转入第二步；第二步，利用光路可逆性，从上述Z＝0平面内的圆上逆向追迹光线，获得被测件上任意一点B(s,t)对应的点源分布区域，其中s表示待测件上点B对应的横坐标，t表示待测件上点B对应的纵坐标；以此类推，将待测件上每个点对应的点源分布区域都计算出，从而获得被测件的全面形所需要的点源分布区域阵列，转入第三步；第三步，确定点源分布区域阵列中每个区域的质心坐标(x,y)，记为矩阵A[i,j]，并计算出每个质心到对应区域边缘的最短距离矩阵d_q[k,l]，q表示被测件上不同的点，k表示最短距离矩阵的行坐标，l表示最短距离矩阵的纵坐标；第四步，根据点源阵列发生器的实际加工及分布情况，进一步优化需要的点源位置，去掉冗余，获得被测件上每个点对应的点源最优位置；第五步，根据上述被测件上每个点对应的点源最优位置，获得符合被测件面形变化要求的点源阵列发生器参数。