发明名称 一种基板检测装置
摘要 本发明公开一种基板检测装置,包括照明组件、用于承载待检测基板的承托组件以及操作人员所处的站台,照明组件和承托组件分设于站台的相对的两侧。本发明能够避免光纤因晃动而触碰到光栅和待检测基板,以避免宕机和损伤待检测基板,还能够避免因光纤晃动产生的光折射和反射现象及乱流现象,以确保检测结果的准确度和检测环境的洁净度,并且在需要调整灯源的亮度等时,操作人员无需走动,操作简便。
申请公布号 CN106198570A 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201610667660.4 申请日期 2016.08.15
申请人 武汉华星光电技术有限公司 发明人 游镇滔
分类号 G01N21/958(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I 主分类号 G01N21/958(2006.01)I
代理机构 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人 钟子敏
主权项 一种基板检测装置,其特征在于,所述基板检测装置包括照明组件、用于承载待检测基板的承托组件、以及对所述待检测基板进行检测时操作人员所处的站台,其中,所述照明组件和所述承托组件分设于所述站台的相对的两侧。
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