发明名称 |
一种基板检测装置 |
摘要 |
本发明公开一种基板检测装置,包括照明组件、用于承载待检测基板的承托组件以及操作人员所处的站台,照明组件和承托组件分设于站台的相对的两侧。本发明能够避免光纤因晃动而触碰到光栅和待检测基板,以避免宕机和损伤待检测基板,还能够避免因光纤晃动产生的光折射和反射现象及乱流现象,以确保检测结果的准确度和检测环境的洁净度,并且在需要调整灯源的亮度等时,操作人员无需走动,操作简便。 |
申请公布号 |
CN106198570A |
申请公布日期 |
2016.12.07 |
申请号 |
CN201610667660.4 |
申请日期 |
2016.08.15 |
申请人 |
武汉华星光电技术有限公司 |
发明人 |
游镇滔 |
分类号 |
G01N21/958(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/958(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 |
代理人 |
钟子敏 |
主权项 |
一种基板检测装置,其特征在于,所述基板检测装置包括照明组件、用于承载待检测基板的承托组件、以及对所述待检测基板进行检测时操作人员所处的站台,其中,所述照明组件和所述承托组件分设于所述站台的相对的两侧。 |
地址 |
430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 |