发明名称 半导体基板
摘要 本发明公开一种半导体基板,包含半导体本体、第一缓冲层、第一非晶硅层、第二缓冲层、第二非晶硅层与第一保护层。半导体本体具有第一表面与相对于第一表面的第二表面。第一缓冲层设置于半导体本体的第一表面上。第一非晶硅层掺杂有第一型掺质且设置于第一缓冲层上。第二缓冲层设置于半导体本体的第二表面上。第二非晶硅层掺杂有第二型掺质且设置于第二缓冲层上。第一保护层设置于第一非晶硅层上。
申请公布号 CN106206782A 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201510228814.5 申请日期 2015.05.07
申请人 新日光能源科技股份有限公司 发明人 赵建昌
分类号 H01L31/0392(2006.01)I 主分类号 H01L31/0392(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 王玉双;常大军
主权项 一种半导体基板,其特征在于,包含:一半导体本体,具有一第一表面与相对于该第一表面的一第二表面;一第一缓冲层,设置于该第一表面上;一第一非晶硅层,设置于该第一缓冲层上,掺杂有一第一型掺质;一第二缓冲层,设置于该第二表面上;一第二非晶硅层,设置于该第二缓冲层上,掺杂有一第二型掺质;及一第一保护层,设置于该第一非晶硅层上。
地址 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行三路7号