发明名称 INTERCONNEXIONS MULTICOUCHES A FAIBLE CAPACITE PARASITE LATERALE
摘要
申请公布号 FR2747511(B1) 申请公布日期 1998.09.04
申请号 FR19960004746 申请日期 1996.04.10
申请人 SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA 发明人 MARTY MICHEL;PASSEMARD GERARD;WYBORN GRAEME
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L23/528 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址