荷電粒子線装置

摘要

【課題】本発明は、特定周波数によってもたらされる画像障害の抑制と、耐震性の向上を高度に両立する防音カバーを備えた荷電粒子線装置の提供を目的とする。【解決手段】複数の壁面を持つ箱状の防音カバーを備えた荷電粒子線装置であって、防音カバーは箱状体のフレームを構成する複数の柱状体（６１）と、当該複数の柱状体の接続部に設けられ、前記少なくとも２つの柱状体を支持するように取り付けられる箱状の音響エネルギー吸収構造体（３１）を備えた荷電粒子線装置を提案する。【選択図】 図８