| 摘要 |
【課題】 基板への異物付着により生じる、パターンの形成不良を低減することができるインプリント装置およびインプリント方法を提供すること。【解決手段】 本発明の一実施形態にかかるインプリント装置は、基板２にインプリント材を供給する供給部１３と、型４を保持する保持部１０を有し、前記供給部により供給された前記インプリント材に対して型４を接触させることでパターンを形成するパターン形成手９段と、を有する。さらに、基板２が配置される空間に層状の気体流を形成して基板２への異物の付着を防止する防止手段４４と、基板２に局所的に流体を供給して基板２上に付着した異物を除去する除去手段２０と、を備えることを特徴とする。防止手段防止手段防止手段【選択図】 図１ |
