積層型圧電セラミック電子部品、及び積層型圧電セラミック電子部品の製造方法

摘要

積層焼結体１は、Ｎｉを主成分とした内部電極３と圧電セラミック層とが交互に積層され焼結されてなる。圧電セラミック層は、Ｎｂ、Ｋ、Ｎａ、及びＬｉを含むペロブスカイト型化合物を主成分として含有すると共に、Ｎｄ及びＤｙから選択される少なくとも一種の元素Ｍ１と、Ｇａ及びＡｌから選択される少なくとも一種の元素Ｍ２とを含んでいる。溶解処理して溶解させた場合において、前記元素Ｍ２の含有量が、前記Ｎｂ１モル部に対し０．０７１モル部以下である。この積層型圧電セラミック圧電部品は、Ｎｉの酸化を抑制する還元性雰囲気で内部電極３となる導電膜と圧電セラミック層となるセラミックグリーンシートが共焼成されて作製される、これにより信頼性の良好な積層型圧電セラミック電子部品とその製造方法を実現する。