| 摘要 |
【課題】省スペースで光干渉計測装置を校正するための新たな技術を提供する。【解決手段】光干渉計測装置は、光源からの光を参照光と測定光とに分割し、測定光を物体に照射し、その戻り光と参照光との干渉光を生成し、生成された干渉光を検出する干渉光学系を備えている。光干渉計測装置は、光路分割部材と、第１参照光路長変更部と、校正量算出部と、データ生成部とを含む。光路分割部材は、参照光を第１参照光路及び第２参照光路に導く。第１参照光路長変更部は、第１参照光路及び第２参照光路の少なくとも一方である可変参照光路の長さを変更する。校正量算出部は、可変参照光路の長さが変更された後に生成された第１検出データと、可変参照光路の長さが変更される前に生成された第２検出データとに基づいて、光源に関する校正量を求める。データ生成部は、干渉光の検出結果と校正量とに基づいて、物体に関するデータを生成する。【選択図】図２ |
