非破壊検査装置

摘要

本発明は、移動する被検体に対して精密な非破壊検査を行うことができる技術を提供するものである。放射線源１は、格子Ｇ０〜Ｇ２に向けて放射線を放射する。各格子Ｇ０〜Ｇ２は、複数の格子部材を備える。放射線検出器３は、複数の格子部材で回折された放射線を検出する。複数の格子部材は、第１〜第３の部分領域７１〜７３を通過した放射線によってそれぞれ形成されるモアレ模様画像が、モアレ模様画像相互の間での位相差を持つように、既定の位相差を持って配置されている。