弾性波素子と、これを用いたデュプレクサ、電子機器

摘要

弾性波素子は、圧電体と、圧電体上に設けられた酸化アルミ層と、酸化アルミ層上に設けられた電極と、電極を覆うように酸化アルミ層上に設けられた保護膜とを備える。圧電体は、オイラー角（φ，θ，ψ）を有するニオブ酸リチウム系の圧電材料よりなる。酸化アルミ層はＡｌ２Ｏ３よりなる。電極は波長λを有する主要弾性波を励振するように構成されている。保護膜は０．２７λより大きい膜厚を有する。オイラー角は、ψ≦−２φ−３°と−２φ＋３°≦ψのうちの一方と、−１００°≦θ≦−６０°と、２φ−２°≦ψ≦２φ＋２°とを満たす。この弾性波素子は発生する不要スプリアスを抑制することができる。