| 摘要 |
【課題】 重ね合せ精度を向上させることができる、ディストーション検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】 ディストーション検出方法は、チャックに吸着する前の基板の反り形状の情報を用いて、前記チャックに吸着された前記基板上の各位置における２方向に関する位置ずれ量を表す式を求め、前記２方向に関する位置ずれ量を表す式を用いて前記基板上の複数位置における２方向に関する位置ずれ量を計算し、前記複数位置における２方向に関する位置ずれ量に基づいて、前記基板のショット領域に関する複数種のディストーション成分を求めることを特徴とする。【選択図】 図２ |
