| 摘要 |
【課題】電子部品を第１温度と第２温度とのそれぞれに設定することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品搬送装置は、電子部品を搬送し、前記電子部品を第１温度にすることが可能な第１搬送部と、前記電子部品を搬送し、前記電子部品を前記第１温度とは異なる第２温度にすることが可能な第２搬送部と、を有する。前記第１搬送部は、前記電子部品を載置して移動可能で前記電子部品を前記第１温度にすることが可能な第１電子部品載置部と、前記電子部品を把持して移動可能で前記電子部品を前記第１温度にすることが可能な第１電子部品把持部とを有し、前記第２搬送部は、前記電子部品を載置して移動可能で前記電子部品を前記第２温度にすることが可能な第２電子部品載置部と、前記電子部品を把持して移動可能で前記電子部品を前記第２温度にすることが可能な第２電子部品把持部とを有する。【選択図】図１ |
