シール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置

摘要

【課題】接触式シールの交換頻度を低減することができるシール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置を提供すること。【解決手段】圧力の異なる２つの空間を隔てるシール構造１は、圧力の異なる２つの空間のうち高圧側の空間に配置される筒状のハウジング２と、ハウジングに挿入されるシャフトと、シャフトに固定されてシャフトとともに、回転または軸方向に移動しながらハウジングに接して隙間を密封する環状の第１シール部材と第２シール部材とを備える。ハウジングには、第１シール部材と第２シール部材との間の空間に冷却用流体を通過させるための、複数の貫通穴が形成されている。【選択図】図１