| 摘要 |
【課題】感光性樹脂組成物を用いて絶縁被膜を形成する場合に、絶縁被膜の開口端部の断面形状を調整できる絶縁被膜の形成方法を提供すること。【解決手段】本発明の絶縁被膜の形成方法は、塗膜を形成する塗布工程と、露光工程と、現像工程と、を備え、前記塗膜の３８５ｎｍにおけるヘーズ値と、絶縁被膜における開口端部の断面形状とが、下記条件（ａ）および（ｃ）のうちのいずれかの条件を満たすことを特徴とする。条件（ａ）：ヘーズ値が２５％以下であり、開口端部の断面形状が矩形状である。条件（ｂ）：ヘーズ値が２５％超８０％以下であり、開口端部の断面形状がテーパー状であり、かつ、当該断面形状におけるテーパー角度が６０°以上８５°以下である。条件（ｃ）：ヘーズ値が８０％超であり、開口端部の断面形状がテーパー状であり、かつ、当該断面形状におけるテーパー角度が０°以上６０°未満である。【選択図】なし |
