| 摘要 |
【課題】表面に複数の電極バンプが形成された半導体ウェーハの表面側を吸引保持する場合に、負圧のリークを防止してウェーハを確実に吸引保持することのできるチャックテーブルを提供する。【解決手段】格子状に区画された複数の領域に電極バンプ１７を有するデバイスがそれぞれ形成されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウェーハの表面を吸引して保持するチャックテーブル２４であって、該電極バンプ１７と対向しウェーハの該デバイス領域を吸引保持する保持面４４ａと、該保持面を囲繞し、該保持面より突出した弾性部材でウェーハの該外周余剰領域を支持する外周余剰領域支持部（Ｏリング５４）と、を備える。該外周余剰領域支持部は、該電極バンプの高さに対応して該保持面から突出していることを特徴とする。【選択図】図５ |
