摘要 |
【課題】小型化と、高次高調波の検出精度の向上とを両立可能な超音波デバイス、超音波モジュール、及び超音波測定機を提供する。【解決手段】超音波デバイス4は、基本波の超音波を送信する複数の超音波送信部42と、基本波に対する2次高調波を受信可能な複数の超音波受信部43と、を備え、複数の超音波送信部42及び複数の超音波受信部43は、X方向に沿って配置され、複数の超音波受信部43は、2次高調波の次数に応じた第一間隔Lにて配置され、N個の超音波送信部42により1つの送信チャンネルTが構成され、当該送信チャンネルTを構成するN個の超音波送信部42は、互いに結線され、送信チャンネルTが、第一間隔Lの2倍となる第二間隔2Lで配置される。【選択図】図6 |