| 摘要 |
【課題】小型化することが容易な圧電型ＭＥＭＳスイッチを提供する。【解決手段】ＭＥＭＳスイッチ１００は、基板３に片持ち支持され、基板３と離間する離間部１３ｆを有する第１ビーム１３と、第１ビーム１３上の第１信号線１４と、第１ビーム１３上のグラウンド１６ａ、１６ｂと、第１ビーム１３を変形させるための圧電駆動素子１１ｘ、１１ｙと、第１ビーム１３に設けられ、第１ビーム１３の変形によって第１信号線１４と第２信号線２４との間の接続と切断とを切り替える接触端子１５とを備える。平面視で、グラウンド１６ａ、１６ｂは、第１信号線１４を挟むように設けられており、圧電駆動素子１１ｘ、１１ｙは、グラウンド１６ａ、１６ｂよりも第１信号線１４側とは反対側に設けられている。【選択図】図５ |
