发明名称 圧電素子、及び圧電素子応用デバイス
摘要 【課題】圧電特性の向上した圧電素子、及び圧電素子応用デバイスを提供する。【解決手段】第1電極60と、第1電極60上に溶液法によって形成され、カリウムと、ナトリウムと、ニオブと、を含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層70と、圧電体層70上に設けられた第2電極80と、を備えた圧電素子300であって、圧電体層70は、θ−2θ測定によるX線回折パターンにおいて、(200)面に由来するピークと(002)面に由来するピークとを有する。【選択図】図3
申请公布号 JP2017050352(A) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20150171296 申请日期 2015.08.31
申请人 セイコーエプソン株式会社 发明人 酒井 朋裕;角 浩二;一色 鉄也;高橋 敏明;古林 智一;北田 和也
分类号 H01L41/187;B41J2/14;B41J2/16;H01L41/09;H01L41/317 主分类号 H01L41/187
代理机构 代理人
主权项
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