发明名称 |
圧電素子、及び圧電素子応用デバイス |
摘要 |
【課題】圧電特性の向上した圧電素子、及び圧電素子応用デバイスを提供する。【解決手段】第1電極60と、第1電極60上に溶液法によって形成され、カリウムと、ナトリウムと、ニオブと、を含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層70と、圧電体層70上に設けられた第2電極80と、を備えた圧電素子300であって、圧電体層70は、θ−2θ測定によるX線回折パターンにおいて、(200)面に由来するピークと(002)面に由来するピークとを有する。【選択図】図3 |
申请公布号 |
JP2017050352(A) |
申请公布日期 |
2017.03.09 |
申请号 |
JP20150171296 |
申请日期 |
2015.08.31 |
申请人 |
セイコーエプソン株式会社 |
发明人 |
酒井 朋裕;角 浩二;一色 鉄也;高橋 敏明;古林 智一;北田 和也 |
分类号 |
H01L41/187;B41J2/14;B41J2/16;H01L41/09;H01L41/317 |
主分类号 |
H01L41/187 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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