发明名称 シート剥離装置および剥離方法
摘要 【課題】接着シートを確実に剥離することができるシート剥離装置を提供すること。【解決手段】シート剥離装置10は、剥離用テープPTを接着シートASに貼付する貼付手段20と、接着シートASに貼付された剥離用テープPTに張力を付与して被着体WFから接着シートASを剥離する引張手段30と、引張手段30での接着シートASの剥離によって被着体WFが接着シートASの剥離方向へ移動することを規制する移動規制手段40と、被着体WFから剥離された接着シートASを被着体WF方向に押え付ける押え付け手段50とを備え、移動規制手段40と押え付け手段50とを選択的に利用して1枚の接着シートASを剥離する。【選択図】図1
申请公布号 JP2017050364(A) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20150171467 申请日期 2015.08.31
申请人 リンテック株式会社 发明人 高野 健
分类号 H01L21/683 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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