ワーク分割装置

摘要

【課題】ダイシングテープの弛みによるチップの品質低下等を防ぐようにしたワーク分割装置を提供する。【解決手段】ダイシングテープの部にダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割する分割手段と、ダイシングテープの部に近接した第１空間領域を冷却する冷却手段と、第１空間領域とは異なる空間領域であって、ダイシングテープの部よりも外側の外周部に近接した第２空間領域を加熱する加熱手段と第１空間領域と第２空間領域とを遮断する隔壁手段と、を備える。【選択図】図１