| 摘要 |
【課題】本発明は、発光物質として水銀を用いることなく、良好な始動特性を有し且つＵＶ−Ａ領域の紫外線を所定の出力精度で安定的に放射することができるマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置を提供することを目的とする。【解決手段】マイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置は、電源ユニットと、無水銀のマイクロ波無電極ランプを有する照射ユニットと、該マイクロ波無電極ランプを冷却する冷却空気供給機構とを有するマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置であって、キセノンランプを利用した始動補助手段を備え、点灯時に、該キセノンランプは、数秒に１回の割合で前記マイクロ波無電極ランプに対してパルス照射する。【選択図】図２ |
