装着ヘッドの検査装置

摘要

【課題】装着ヘッドの動作を高精度に検査することが可能な装着ヘッドの検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】検査装置は、保持部材を規定の昇降位置または規定の回転角度とする規定動作において、当該規定動作のフィードバック制御における指令値とフィードバックされた検出値との偏差を取得する偏差取得部と、取得された偏差に基づいて、装着ヘッドの規定動作に伴う負荷を測定する負荷測定部と、を備える。【選択図】図５